米级，这种程度完全可以碾压现在国际的同类产品。

其实现的原理就是在真空条件下，利用电场将氩气等惰性气体电离为离子，轰击工件表面，将表面原子去除。

这是一种原子量级的加工手段，可以达到原子级的精度和表面粗糙度，加工的准确性和稳定性好，与工件之间没有机械接触、不产生表面损伤，是目前最先进的光学元件加工技术。”

“各位刚刚我讲的4点技术，都是以计算机数控光学为基础研究形成的技术。

有什么不清楚的可以继续提出来，我们相互讨论一下。”王昊哲笑着说道。

看到在场的所有研究员都在思考着，方中一所长笑着说道“看来各位对王总工的讲解很有启发，既然这样各位就根据手头的制造图纸结合王总工的讲解，自己消化一下，如果有什么问题再请教王总工。”

听到方中一所长这样说，王昊哲也不准备再做停留“方所长，那我就走了，之后有什么问题，我们再沟通。”

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最后王昊哲直奔中科院校准技术研究所，刚要进入研究室的王昊哲就听到里面发生了激烈的争吵。

“王总工的制造图纸怎么会有问题，我看是你们自己没有能理解清楚。

制造图纸中明明白白的讲清楚了光刻对准技术由最初的明场和暗场对准发展到后来的干涉全息或外差干涉全息对准、混合匹配、由粗略到精细对准技术等-----”

王昊哲在门外听了一会儿，听到有研究员能理解自己的制造图纸，不住的点了点头。

随即王昊哲便推门走了进去，见到来人是王昊哲，研究室内的众人也不争吵了“刚刚在外面我听了一点你们之间的谈话，大概明白了你们的想法。

刚刚那位帮我说话的研究员是谁？

对我的研究有一定的见解，很不错。”

只见一位模样瘦小的小姑娘踮着脚尖举着手“是我，王总工。通过我的理解您的制造图纸是没有问题的。”

“哈哈哈，真的感谢这位小姑**信任，不过各位能有不同的想法我也是很高兴的，科学研究就是要这样，通过不断地讨论我们才能取得进步。

我现在给你们讲解下你们手中制造图纸最重要地三个部分：wap.bΙＱμＧètν.net

第一个部分是：双光束ttl对准技术。

该技术主要通过在掩模一侧通过精缩物镜进行测量，该技术能允许连续的倍率控制，